Parylene(聚對二甲苯) 極薄薄膜沉積塗層系統 / 台式旋轉塗層機 台式旋轉塗層機 可編寫程式及不可編寫程式 可用於 8寸", 12寸", 15寸" bowls 熱電鍍板 Plate 溫度範圍 50° C to 150° C Parylene(聚對二甲苯) 極薄薄膜沉積塗層系統