半導體/微電子/微機電/光電




晶圓片和基板探針台及配件

3寸、4寸、6寸、8寸、12寸晶圓探針台,客制化大尺寸基板探針台
手動探針台、自動探針台、亞微米探針台、程式控制探針台、全功能半自動探針台 ← *皆可現場升級
直流、微波、毫米波、太赫茲探針台
研發、表徵、建模、晶圓驗收測試(WAT)
晶片功能測試(FT)、失效分析(FA)、可靠性測量(RA)θ
高頻S參數、噪音參數(NP)、負載牽引(LP)、大信號參數測量
FA低漏電探針台、3KV、10KV、20KV、…..(大電壓/大電流/大功率)電力器件測試探針台
高精度、穩定直流與射頻探針定位器(Probe Positioner)
單芯、同軸(Coaxial)、三軸探針(Triaxial)
同軸介面探頭(Coaxial Probe)、波導介面探頭(Waveguide Probe)
快速升降溫控待測物卡盤(Chuck): -65℃ ~ 600℃ (分段)
機身採用厚實高穩定度不袗與航太等級鋁材
自動化測試系統整合 °


美制.高精度.四探針.電阻率測量系統 ®

 

測量晶片、薄膜、太陽能電池等樣品電阻參數

手動測量系統、程式控制測量系統、自動測量系統

測量樣品的片電阻、電阻率、電阻率溫度係數(TCR)、V/I或厚度及其分佈    

測量結果可用平均值、最大值、最小值、標準差等各種資料顯示;2D彩色地形圖、3D地圖報表
採用雙配置與4種測量,提高測量的重複性和準確性

多種四探針探頭可選, 另備有高溫/大電組測量探頭



ProChek 晶片級半導體可靠性表徵系統

 

完整的器件級表徵系統

緊湊的平臺,便於與晶圓級測試結構進行接口

NBTI, PBTI, TDDB, HC, EM, SM的內置測試協議

使用者可編寫程式和可配置的測試條件

進行“快速NbTi/PbTi”測量,觀察退火效果

直接可用及電纜介面

獨立驗證鑄造PDK參數




無線通訊系統測試設備

載波對噪音發生器.使用AWGN的精密誤碼率與C/N測試
白高斯噪音發生器
衛星到地面站射頻連結模擬器
頻率合成器-高頻至30GHz,低噪音,1 Hz解析度
多通道寬頻固態衰減器
變頻器
射頻介面

,

聚對二甲苯 ----用於製作極薄薄膜或沉積塗層系統 / 台式旋轉塗布機

台式旋轉塗布機
    可編寫程式及不可編寫程式
    可用於 8寸", 12寸", 15寸" bowls
熱電鍍板 Plate
    溫度範圍 50° C to 150° C
聚對二甲苯 ----用於製作極薄薄膜沉積塗層系統

信號完整性測試.功率完整性測試.探針台

基板/PCB
   單面測量、雙面測量、直立測量、3D測量、母子板測量、正交板測量、背板、互連板測量。 。    
倒裝芯片、BGA封裝、射頻連接器、插座(Socket)、接觸器(Contactor) 測試  
獨特的探針台180度旋轉能力,快速穩定設置探針及待測板的上方與下方  
多種型號探針台, 滿足不同尺寸大小的板件測試需求
   



故障分析與直流參數測量 & 直流參數測量

多曲線追蹤儀器Multi-trace Curve Tracer
直流參數測試儀



手動及自動測試裝置和校準標準

射頻測試夾具裝置
    封裝器件
    芯片
    基板【Substrate】 (微波傳輸帶 )
校準套件
自動射頻設備處理器
TDR時域反射 and RF 射頻探針