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| 半導體/微電子/微機電/光電 |
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美制．高精度．四探針．電阻率測量系統 ®
測量晶片、薄膜、太陽能電池等樣品電阻參數
手動測量系統、程式控制測量系統、自動測量系統
測量樣品的片電阻、電阻率、電阻率溫度係數(TCR)、V/I或厚度及其分佈
測量結果可用平均值、最大值、最小值、標準差等各種資料顯示；2D彩色地形圖、3D地圖報表
採用雙配置與4種測量，提高測量的重複性和準確性
多種四探針探頭可選, 另備有高溫/大電組測量探頭
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ProChek 晶片級半導體可靠性表徵系統
完整的器件級表徵系統
緊湊的平臺，便於與晶圓級測試結構進行接口
NBTI, PBTI, TDDB, HC, EM, SM的內置測試協議
使用者可編寫程式和可配置的測試條件
進行“快速NbTi/PbTi”測量，觀察退火效果
直接可用及電纜介面
獨立驗證鑄造PDK參數
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信號完整性測試．功率完整性測試．探針台
基板/PCB
單面測量、雙面測量、直立測量、3D測量、母子板測量、正交板測量、背板、互連板測量。 。
倒裝芯片、BGA封裝、射頻連接器、插座(Socket)、接觸器(Contactor) 測試
獨特的探針台180度旋轉能力，快速穩定設置探針及待測板的上方與下方
多種型號探針台, 滿足不同尺寸大小的板件測試需求
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可編寫程式及不可編寫程式
